シリコン基板

応力分布のラマンイメージング

シリコン(Si)

ひずみ・応力評価

非晶質Ge薄膜

Au誘起結晶成長のその場観察

InGaN/GaN

PL(フォトルミネッセンス)分析

薄膜シリコン

粒界のラマン観察

ポリシリコン

多結晶Si薄膜の結晶性評価

SiC

シリコンカーバイドの応力評価

SiCウエハー

全面の結晶多形ラマンイメージング